超精密拋光是加工速度極慢的一種加工方法。不適合形狀范成法加工，近年來，由于短波長光學(xué)元件、OA儀器和AV機器等的飛速發(fā)展，對零件的表面粗糙度提出了更高的要求，到目前為止還沒有比超精密拋光更好的實用的方法，尤其當零件的表面粗糙度要求優(yōu)于0.0lμm時，這種方法是不可缺少的，對形狀精度要求很高的工件，如果采用強制進給的方法進行切削或進行磨削時，其形狀精度將直接受到機床進給定位精度的影響，達到所在反應(yīng)，并由此引起的加工作用，在工件表面上存在同樣微小凹的部分，在一般情況下，只能獲得波紋起伏較大的表面。

  日本大阪大學(xué)工學(xué)部森勇芷教授等人利用EEM開發(fā)了一種三軸(x、z、C)數(shù)控光學(xué)表面范成裝置，利用該裝置加工時，一邊在工件表面上控制聚胺脂球的滯留時間，一邊用聚胺脂球掃描加工對象的物全領(lǐng)域，利用該裝置能加工高精度的任意曲面。