超精密加工技術(shù)
采用目前制造領(lǐng)域最高精度的超精密數(shù)控機(jī)床,利用天然單晶金剛石刀具,可實(shí)現(xiàn)三維復(fù)雜曲面的超精密一次成型加工,精度高、穩(wěn)定性好,表面粗糙度高達(dá)3nm,可對鋁、銅、鎳、金、鍺、硒化鋅、硫化鋅、樹脂(如PMMA)等材料進(jìn)行加工,具備制造各種平面反射鏡、球面反射鏡、凹/凸非球面反射鏡、離軸非球面反射鏡、非球面陣列反射鏡、菲涅爾反射鏡,微溝槽陣列和多面棱鏡等各種超精密核心關(guān)鍵件,以及各種尺寸的光學(xué)玻璃模壓和注塑用模具的加工能力。
應(yīng)用范圍:
1、可對鋁、銅、鎳、金、高分子材料(如:PMMA)、WC等材料進(jìn)行超精密加工,也可對鍺、硒化鋅、硫化鋅、SiC等脆性材料進(jìn)行納米量級切削;
2、可用來制造航空航天精密軸承、曲面鏡等核心關(guān)鍵件;
3、可用于制造微電子領(lǐng)域極紫外光刻裝備所需的離軸非球面物鏡等核心關(guān)鍵件;
4、可用于制造激光、紅外光學(xué)系統(tǒng)的雙錐透鏡、光束整形組合反射鏡等;
5、可用于制造光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡、相位板和光學(xué)模具;
6、可對平面、球面及非球面等進(jìn)行超精密加工;
7、通過有效手段可以實(shí)現(xiàn)WC等硬材料加工。
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